美國ALICAT耐高壓質(zhì)量流量控制器，適用于高壓應(yīng)用氣體質(zhì)量流量的測量和控制?？捎昧砍蹋?-5000 slpm；0-10 sccm，可調(diào)比：50:1，校準精度（NIST可溯源）：±2%滿量程，可重復(fù)性：0.2%滿量程，標準控制器響應(yīng)時間常數(shù)：5-10ms，無需預(yù)熱時間
美國艾里卡特質(zhì)量流量控制器-多重氣體可選，Alicat的多種氣體可選系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可通過定制化的高速比例調(diào)節(jié)閥精確測量與控制過程氣體的質(zhì)量流量體積流量和壓力，還可同時測量并顯示氣體溫度。
美國艾里卡特質(zhì)量流量計-雙閥壓力控制器，Alicat的雙閥系列雙閥壓力控制器利用兩臺定制高速比例控制閥快速精確地控制密閉系統(tǒng)內(nèi)的絕壓或表壓。雙閥門設(shè)計采用一臺閥門保持設(shè)定壓力、另一臺用于泄壓，省去額外排氣閥的同時也減少了昂貴氣體的浪費
美國ALICAT 大流量系列雙閥壓力控制器$nAlicat的-大流量系列雙閥壓力控制器利用兩臺定制高速比例控制閥$n快速精確地控制密閉系統(tǒng)內(nèi)的絕壓或表壓。
美國ALICAT 低壓降系列質(zhì)量流量控制器$nAlicat的低壓降數(shù)字式質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器$n可快速精確地測量與控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量$n和壓力，并將對系統(tǒng)可能產(chǎn)生的影響降低
美國ALICAT質(zhì)量流量計雙閥壓力控制器$n遠程系列雙閥壓力控制器是基于雙閥壓力控制器基礎(chǔ)上含一遠程壓力傳感端口，用于控制遠端$n系統(tǒng)內(nèi)壓力。在很多應(yīng)用場合里，壓力控制器出口并不是需要控制的壓力點$n而是遠處的某一個腔體或管路
Alicat的MC系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器可通過定制化的高速比例調(diào)節(jié)閥精確測量與控制過程氣體的質(zhì)量流量體積流量和壓力，還可同時測量并顯示氣體溫度。
數(shù)字式質(zhì)量流量控制器進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干凈《不能進水/油、雜質(zhì)粉塵不超過20微米》。用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。
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陳工